化学气相沉积（关于化学气相沉积介绍） 1、化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。 2、化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。 3、化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。 4、这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV... 2025-10-05 18
